一种应用于半导体领域的减少超纯水中颗粒数的方法

摘要

本发明涉及一种应用于半导体领域的减少超纯水中颗粒数的方法，主要包括以下步骤：(1)将进水管管口用“PE”袋套上，并用无尘胶带与原有的加水管一起固定住；(2)超纯水加满槽子时，并溢流30min；(3)电导率仪检测水阻值(4)用LPC仪器测试超纯水中的Particles(5)记录测试结果。采用该方法可以减少空气中Particles随进水管管口进入到超纯水里，同时槽子底部的超纯水也可以通过溢流换成新的超纯水，减少槽子底部Particles的存留，提高了测试结果的准确性以及超纯水的使用率，提高生产成本。