公开/公告号CN110100500A
专利类型发明专利
公开/公告日2019-08-06
原文格式PDF
申请/专利权人 昕诺飞控股有限公司;
申请/专利号CN201780078902.9
申请日2017-12-07
分类号
代理机构北京市金杜律师事务所;
代理人郑立柱
地址 荷兰艾恩德霍芬市
入库时间 2024-02-19 12:40:57
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-01-14
实质审查的生效 IPC(主分类):H05B33/08 申请日:20171207
实质审查的生效
2019-08-06
公开
公开
机译: 基于具有离散偏振态的光学偏振旋转器的偏振模式仿真器和偏振模式色散补偿器
机译: 用于微光刻投影曝光系统的照明系统,具有偏振器,该偏振器包括将投影光的偏振状态转换为正交偏振状态的转换单元。
机译: 锁相模式脉冲激光源,具有激光发生镜/放大器和偏振器,具有非线性晶体强度变化的偏振输出和偏振角可选