公开/公告号CN110110889A
专利类型发明专利
公开/公告日2019-08-09
原文格式PDF
申请/专利号CN201910238912.5
申请日2019-03-27
分类号G06Q10/04(20120101);G06Q10/06(20120101);G06Q50/08(20120101);
代理机构11403 北京风雅颂专利代理有限公司;
代理人李弘
地址 100031 北京市西城区西长安街86号
入库时间 2024-02-19 12:40:57
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-09-03
实质审查的生效 IPC(主分类):G06Q10/04 申请日:20190327
实质审查的生效
2019-08-09
公开
公开
机译: 消耗量测定装置,温度测定装置,消耗量测定方法,温度测定方法以及基板处理系统
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