浓度控制装置、气体控制系统、成膜装置及浓度控制方法

摘要

提供浓度控制装置、气体控制系统、成膜装置、浓度控制方法及浓度控制装置用程序记录介质。在间歇性从汽化罐导出材料气体的浓度控制装置中，为了控制载气、稀释气体的流量以抑制材料气体的供给期间开始不久的材料气体浓度过冲，具备：设定流量计算部(33)，基于在供给材料气体的第一供给期间内的第一预定时刻由浓度计算部(32)算出的实际浓度、在该第一供给期间内的第一预定时刻从流量控制设备(40)输出的实际流量或该第一供给期间内的第一预定时刻的流量控制设备(40)的设定流量和预先设定的目标浓度，计算在第一供给期间后的第二供给期间内的作为从开始到第二预定时刻为止的期间的初始区间内的流量控制设备(40)的初始设定流量。