用于测量光学仪器的聚焦状态的系统和方法

摘要

描述了一种用于测量光学仪器(例如，显微镜)的聚焦状态的系统和方法。所述系统和方法提供为形成光学仪器的物镜的出射光瞳的像。在形成出射光瞳的像的地方，放置了一个或多个光学元件(例如，棱镜或反射镜)，所述一个或多个光学元件使来自出射光瞳的光线的至少一部分偏转，以使得来自光瞳的不同的非重叠部分的光线跟随分开的光路。来自光瞳的两个部分的光线然后被聚焦，以便获得两个二维像。计算机将这两个二维像之间的相互距离确定为这二者之间的相互刚性横向位移，并且基于该距离，确定光学仪器的对应的散焦。