五轴非接触式测量机的误差补偿方法

摘要

一种五轴非接触式测量机的误差补偿方法，属于误差补偿技术领域。所述五轴非接触式测量机的误差补偿方法包括：数据采集步骤：测头测量标准工件得到工件任意点的三维坐标(x,y,z)和测头的空间位姿(x,y,z,a,c)；单项误差识别步骤：构建单项误差识别模型，对标准工件进行单项误差识别，得到单项误差数据；综合误差识别步骤：构建从工件链至测头链的理想测量运动模型，再在刚体运动学基础上，利用单项误差数据修正得到综合误差识别模型，以及综合误差数据；误差补偿步骤：根据标准工件的综合误差数据对待测工件的三维坐标数据进行误差补偿，得到修正后的待测工件XYZ三维坐标数据。本发明能够提高测量精度和测量效率。