热传导率测定装置、热传导率测定方法及真空度评估装置

摘要

具有：热产生源，配置为与热传导率的测定对象物接触；热阻材料，配置为与热产生源接触；至少1对示差热电偶，测定通过从热产生源流出热而产生的热阻材料的两点间的温度差所引起的电压值；以及计算装置，计算示差热电偶的输出电压的时间变化率，基于所计算出的时间变化率来计算测定对象物的热传导率。