法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-08-27
实质审查的生效 IPC(主分类):G01R23/165 申请日:20190529
实质审查的生效
2019-08-02
公开
公开
机译: 一种基于流体流动阻力和原子力显微镜的表面测量方法,能够获得快速而准确的信息
机译: 一种基于二次谐波的表征和驱动方法,该方法提高了品质因数并降低了间隙电子静电MEMS谐振器的馈通电流
机译: 一种基于二次谐波的表征和驱动方法,该方法提高了品质因数并降低了间隙电子静电MEMS谐振器的馈通电流