氮化物半导体紫外线发光元件的制造方法和氮化物半导体紫外线发光元件

摘要

氮化物半导体紫外线发光元件1具备蓝宝石基板10以及在基板10的主面101上形成的元件结构部20。基板10中，在从主面101起至第一距离为止的第一部分110中，与主面101平行的截面的截面积随着远离主面101而连续增加，在从主面101的相反侧起至第二距离为止的第二部分120中，与主面101平行的截面的截面积随着远离主面101的相反侧而连续增加。第一距离与上述第二距离之和为基板10的厚度以下。