具有纳米级分辨率的空间电荷测试系统及方法

摘要

本发明公开了一种具有纳米级分辨率的空间电荷测试系统，所述系统包括太赫兹波激发单元和弹光取样检测单元，其中：太赫兹波激发单元由飞秒激光器、分光镜、第一平面反射镜、电光聚合物、抛物面反射镜组构成；弹光取样检测单元由第二平面反射镜、光学延迟线、第三平面反射镜、第四平面反射镜、第五平面反射镜、弹光取样传感器、四分之一波片、平衡探测器、锁相放大器、斩波器构成。本发明以太赫兹波作为激励，以弹光取样技术完成响应信号的探测与接收，采用全光学手段，避免了电子测试技术对系统带宽的限制，不仅能够实现对空间电荷分布的纳米级测试，而且对待测样品和测试环境没有任何特殊的限制和要求。