公开/公告号CN109920576A
专利类型发明专利
公开/公告日2019-06-21
原文格式PDF
申请/专利权人 苏州宏策光电科技有限公司;
申请/专利号CN201910323112.3
申请日2019-04-22
分类号
代理机构北京集智东方知识产权代理有限公司;
代理人张红
地址 215400 江苏省苏州市太仓市长江口旅游开发区紫薇路一号
入库时间 2024-02-19 11:46:10
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-07-16
实质审查的生效 IPC(主分类):G21K1/06 申请日:20190422
实质审查的生效
2019-06-21
公开
公开
机译: 使用软X射线多层膜反射镜的软X射线多层膜反射镜和具有投影光学系统的曝光设备
机译: 多层膜和分光器件的不规则间距沟槽层流衍射光栅
机译: 软X射线多层膜反射镜和软X射线反射光学系统