红外线传感器及其辐射热测量计红外线受光部的冷却方法

摘要

本公开涉及红外线传感器及其辐射热测量计红外线受光部的冷却方法。红外线传感器具备有凹部的基底基板、辐射热测量计红外线受光部及珀耳帖元件。上述红外线受光部具备电阻变化层、辐射热测量计第1梁及辐射热测量计第2梁。珀耳帖元件具备由p型半导体材料形成的珀耳帖第1梁及由n型半导体材料形成的珀耳帖第2梁，珀耳帖元件与上述红外线受光部背侧的面接触。辐射热测量计第1梁和第2梁及珀耳帖第1梁和第2梁各自的一端与基底基板连接，上述红外线受光部及珀耳帖元件悬架在基底基板上部，辐射热测量计第1梁和第2梁及珀耳帖第1梁和第2梁各自具备包含规则地排列的多个贯通孔的声子晶体结构。由此能够兼具优异的检测灵敏度及优异的响应速度。