公开/公告号CN110057728A
专利类型发明专利
公开/公告日2019-07-26
原文格式PDF
申请/专利权人 辽宁红沿河核电有限公司;哈尔滨工业大学(威海);
申请/专利号CN201910341343.7
申请日2019-04-26
分类号
代理机构哈尔滨市伟晨专利代理事务所(普通合伙);
代理人李晓敏
地址 116000 辽宁省大连市中山区南山路127号山东省威海市文化西路2号
入库时间 2024-02-19 11:46:10
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-08-20
实质审查的生效 IPC(主分类):G01N15/04 申请日:20190426
实质审查的生效
2019-07-26
公开
公开
机译: 沉积掩模,沉积掩模组,沉积系统和位置对准测试方法
机译: 沉积掩模,沉积掩模组,沉积系统和位置对准测试方法
机译: 用于测试沉积过程的掩模组件,包括该掩模组件的沉积装置以及使用该掩模组件的沉积过程的测试方法