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一种低温大电流密度含钪氧化物阴极的制备方法

摘要

本发明公开了一种低温大电流密度含钪氧化物阴极的制备方法,包括如下步骤:制备含钪氧化物喷涂材料,所述含钪氧化物喷涂材料为含钪碳酸盐;采用等离子喷涂方法将所述含钪氧化物喷涂材料喷涂至阴极基底上,形成低温大电流密度含钪氧化物阴极。本发明利用含钪碳酸盐发射材料提高了氧化物阴极涂层钪含量的均匀性,从而使得氧化物阴极在低温时具有大的电流密度,增强了阴极涂层牢固度,减少排气时间,而且采用等离子喷涂技术制备的氧化物涂层致密,可增强阴极的电导率,进一步提高脉冲发射电流密度、降低阴极蒸发、延长阴极寿命。

著录项

  • 公开/公告号CN109935505A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2019-06-25

    原文格式PDF

  • 申请/专利号CN201910221739.8

  • 申请日2019-03-22

  • 分类号H01J9/04(20060101);

  • 代理机构11257 北京正理专利代理有限公司;

  • 代理人赵晓丹

  • 地址 100015 北京市朝阳区酒仙桥路13号

  • 入库时间 2024-02-19 11:41:35

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-07-19

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01J9/04 申请日:20190322

    实质审查的生效

  • 2019-06-25

    公开

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