用于测量可磁化基底材料上的不可磁化层的厚度的方法和装置

摘要

本发明涉及一种用于测量磁导率未知的可磁化基底材料上的不可磁化层的厚度的方法，提供测量探针，测量探针具有探头，探头包括带有第一线圈和第二线圈的罐形芯，第一线圈和第二线圈绕共同的几何轴线布置并形成第一线圈对，探头具有位于几何轴线上的支承帽。为了测量基底材料上的层的厚度，将探头放置在所述层上，通过第一线圈对在具有场聚焦的情况下检测第一相互作用区块，通过具有第一线圈和第二线圈的第二线圈对在没有场聚焦的情况下检测第二相互作用区块，第二线圈对于罐形芯外共同绕着所述几何轴线布置，并且将第一相互作用区块和第二相互作用区块相互比较以补偿基底材料的磁导率，并输出将基底材料的磁导率的影响予以校正后的层厚度。