一种解码大脑活动的针状高密度电极阵列的制备方法

摘要

本发明公开了一种解码大脑活动的针状高密度电极阵列的制备方法，属于高密度电极阵列制备技术领域，首先通过Cadence软件设计需要的电极连线和电极记录位点，采用标准的0.18μm CMOS流片工艺，制备出有高密度电极阵列的硅基片，然后利用碳化硅粉末将基片进行减薄，然后用抛光液对基片进行抛光处理提高基片表面质量，最后通过程序控制扫描振镜的方式来控制飞秒激光的运动轨迹，在基片上图案化切割出具有生物安全性、稳定性并且边缘光滑的针状高密度电极阵列，便于在植入脑内过程中不损伤神经纤维，实现对神经元活动信号高精度的采集。