铜蚀刻液及其废液的再生利用方法和循环再生利用系统

摘要

本发明提供了一种铜蚀刻液及其废液的再生利用方法和循环再生利用系统。铜蚀刻液包括以下体积百分比的各组分：98％硫酸8‑12％，30％过氧化氢10‑20％，85％磷酸4‑6％，稳定剂1‑6％，加速剂1‑5％，促进剂1‑3％，去离子水余量。本发明的铜蚀刻液通过硫酸和过氧化氢蚀刻铜，通过磷酸与稳定剂的配合而稳定过氧化氢，及加速剂与促进剂共同的作用而提高蚀刻因子，从而提高了蚀刻速率。采用磷酸与稳定剂即能够稳定过氧化氢，减少了稳定剂的用量，而磷酸价格较便宜，因此降低了铜蚀刻液的成本，铜蚀刻液可大力推广。