一种投影物镜数值孔径测量装置及测量方法

摘要

一种投影物镜数值孔径测量装置，包括：物面基底；物面基底入射光一侧具有散射元件，将入射光均匀散射在投影物镜；物面基底另一侧设计有针孔标记，针孔标记将入射光衍射经投影物镜成像在像面；投影物镜像面侧安装一移动台，该移动台可进行xy向高精度步进运动；以及移动台上安装探测器。测量方法包括如下步骤：根据投影物镜数值孔径设定值选择散射元件散射角；将掩模版上针孔标记移动到物面视场；将探测器移动到像面视场；采集光强分布图形；计算投影物镜数值孔径。使用本发明的一种原位测量投影物镜数值孔径的方法，实现了物镜数值孔径的原位与在线测量，同时测量方法简单、方便。