一种动态监测陶瓷材料超精密加工韧脆去除的装置

摘要

本发明公开一种动态监控陶瓷材料超精密加工韧脆去除的装置，该装置采用微纳米成像仪计算超精密加工过程中工件表面面积，通过微结构演变与表面积变化趋势的定性关系，预测陶瓷材料超精密加工为韧性去除还是脆性去除。从而，可以进一步通过改变超精密加工速度，实现韧性去除，降低亚表面损伤，提高表面完整性。本发明可以简单、方便、快捷地判断脆性材料超精密加工过程中材料的去除机制，解决复杂原位扫描电子显微镜或透射电镜显微镜通过观察微结构演变判断材料去除机制的复杂性和困难性，同时节省了人力和物力，避免材料的浪费。