公开/公告号CN109959861A
专利类型发明专利
公开/公告日2019-07-02
原文格式PDF
申请/专利权人 中科院微电子研究所昆山分所;
申请/专利号CN201910124618.1
申请日2019-02-19
分类号G01R31/28(20060101);G01R1/02(20060101);
代理机构11619 北京辰权知识产权代理有限公司;
代理人刘广达
地址 215347 江苏省苏州市昆山市苇城南路1699号工研院综合大楼7层
入库时间 2024-02-19 11:04:53
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-07-26
实质审查的生效 IPC(主分类):G01R31/28 申请日:20190219
实质审查的生效
2019-07-02
公开
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