公开/公告号CN109900605A
专利类型发明专利
公开/公告日2019-06-18
原文格式PDF
申请/专利权人 成都弥新科技有限公司;
申请/专利号CN201711300141.5
发明设计人 李文轩;
申请日2017-12-10
分类号G01N15/06(20060101);G08C17/02(20060101);
代理机构
代理人
地址 610041 四川省成都市成都高新区天府三街69号1栋23层2303号
入库时间 2024-02-19 10:55:49
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-07-12
实质审查的生效 IPC(主分类):G01N15/06 申请日:20171210
实质审查的生效
2019-06-18
公开
公开
机译: 一种利用离子束生产spm-和cd-spm-纳米探针的方法,从而生产出spm-和cd-spm-纳米探针。
机译: 一种利用离子束,SPM纳米探针和CD-SPM纳米探针制造SPM纳米探针和临界尺寸SPM纳米探针的方法
机译: 一种利用离子束和SPM和CD-SPM纳米探针制造SPM和CD-SPM纳米探针的方法