用于在真空腔室内运输载体的设备及用于在真空腔室内运输载体的方法

摘要

提供用于在真空腔室(101)内运输载体(10)的设备(100)。设备(100)包含第一运输系统(112)，经构造以在运输方向(T)上沿着第一运输路径(T1)非接触地运输载体，及路径切换组件(150),具有载体保持部(151)，经构造以机械接触载体(10)以用于使载体在路径切换方向(S)上移动远离第一运输路径(T1)。进一步地，描述包含路径切换组件的系统，以及用于在真空腔室内运输载体的方法。