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一种III-VI族异质结太阳能电池材料的制备方法

摘要

本发明公开了一种III‑VI族异质结太阳能电池材料的制备方法,其是将K9玻璃作为基片衬底作为阳极,以块体材料作为靶材放在阴极,在Ar气保护下于一定功率开始溅射沉积。溅射结束在基片衬底上沉积一层薄膜后,更换靶材材料,进行第二次沉积。最后将玻璃基片置于无水乙醇和去离子水中前后清洗去除杂质后,干燥即可得到所述的片状III‑VI族异质结太阳能电池材料。本发明具有制备工艺简单,可重复性强,成品率高,成本低等优点,从而可用于太阳能电池电极材料,促进能源问题的解决。

著录项

  • 公开/公告号CN109898053A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2019-06-18

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 福州大学;

    申请/专利号CN201910329408.6

  • 申请日2019-04-23

  • 分类号C23C14/06(20060101);C23C14/34(20060101);H01L21/02(20060101);H01L31/0264(20060101);H01L31/072(20120101);H01L31/18(20060101);

  • 代理机构35100 福州元创专利商标代理有限公司;

  • 代理人蔡学俊

  • 地址 350002 福建省福州市鼓楼区工业路523号

  • 入库时间 2024-02-19 10:33:20

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-07-12

    实质审查的生效 IPC(主分类):C23C14/06 申请日:20190423

    实质审查的生效

  • 2019-06-18

    公开

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