公开/公告号CN109898053A
专利类型发明专利
公开/公告日2019-06-18
原文格式PDF
申请/专利权人 福州大学;
申请/专利号CN201910329408.6
申请日2019-04-23
分类号C23C14/06(20060101);C23C14/34(20060101);H01L21/02(20060101);H01L31/0264(20060101);H01L31/072(20120101);H01L31/18(20060101);
代理机构35100 福州元创专利商标代理有限公司;
代理人蔡学俊
地址 350002 福建省福州市鼓楼区工业路523号
入库时间 2024-02-19 10:33:20
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-07-12
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C14/06 申请日:20190423
实质审查的生效
2019-06-18
公开
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