法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-06-18
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C26/00 申请日:20170330
实质审查的生效
2019-05-24
公开
公开
机译: 金属膜及金属膜被覆部件,金属氧化物膜及金属氧化物被膜被覆部件,用于形成金属膜及金属氧化物被膜的薄膜形成装置及薄膜形成方法
机译: 金属膜和金属膜被覆部件,金属氧化物膜和金属氧化物被膜覆盖部件,用于形成金属膜和金属氧化物被膜的薄膜形成装置以及薄膜形成方法
机译: 金属膜和金属膜被覆部件,金属氧化物膜和金属氧化物被膜覆盖部件,用于形成金属膜和金属氧化物被膜的薄膜形成装置以及薄膜形成方法