一种对接耦合型探测器和对接耦合型探测器的制作方法

摘要

本发明公开了一种对接耦合型探测器和对接耦合型探测器的制作方法。该对接耦合型探测器包括：衬底，以及沿入射光传播方向在衬底上依次同层设置有无源波导区，对接耦合区和吸收区；对接耦合区嵌入吸收区，与吸收区耦合，对接耦合区沿入射光传播方向上的截面积逐渐变小，通过实施本发明的对接耦合型探测器，通过对接耦合区改变现有技术中无源波导区和吸收区对接界面处光的模式分布，使光通过对接耦合区均匀耦合入吸收区，从而解决了对接耦合型探测器过早饱和的难题，此方法能够在保持对接耦合型探测器高耦合效率、高带宽的前提下，明显提高对接耦合型探测器的饱和输出功率。