熔融材料供应单元及包括该供应单元的干式涂覆装置

摘要

根据本发明的一实施例的熔融材料供应单元，包括：原料供应部，提供固体材料；熔融容器部，与原料供应部连接，并且将固体材料熔融而形成熔融材料之后，排出到外部；以及隔板部，配置在与原料供应部连接的熔融容器部的供应区域与将熔融材料排出到外部的熔融容器部的排出区域之间，并且设置为只将熔融材料移动到排出区域。并且，根据本发明的另一实施例的干式涂覆装置可以包括：熔融材料供应单元；真空腔室单元，配置为被镀覆部件在内部移动，并且内部设有熔融材料供应单元的熔融容器部；以及蒸气喷射单元，设置在真空腔室单元的内部，并且与熔融容器部连接，将加热熔融材料而形成的蒸气材料喷射到被镀覆部件以执行涂覆。