公开/公告号CN109822475A
专利类型发明专利
公开/公告日2019-05-31
原文格式PDF
申请/专利权人 FIPA控股有限(责任)公司;
申请/专利号CN201811326035.9
发明设计人 亨宁·施翰兹;
申请日2018-11-08
分类号B25B11/00(20060101);
代理机构31259 上海脱颖律师事务所;
代理人脱颖
地址 德国伊斯马宁
入库时间 2024-02-19 09:35:35
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-05-31
公开
公开
机译: 吸/持夹具,配备有该夹具的吸/持装置,吸/持方法,基板的处理方法以及基板的成膜方法
机译: 吸持晶圆的夹具
机译: 用于夹钳的工具夹具有弹簧装置的弹簧元件形式的连接端