蚀刻效果预测方法和确定人工神经网络的输入参数的方法

摘要

提供了一种蚀刻效果预测方法和确定人工神经网络的输入参数的方法。该蚀刻效果预测方法包括：确定待预测蚀刻偏差的掩模图案的样本区域；确定表示对在样本区域中进行的蚀刻工艺有影响的物理特性的输入参数；对通过将输入参数输入到人工神经网络而获得的输出值与出现在样本区域中的蚀刻偏差的测量值进行比较；以及操作人工神经网络，直到输出值与测量值之间的差等于或小于预定参考值。