主动控制剪切作用与温度诱导梯度增稠抛光方法

摘要

一种主动控制剪切作用与温度诱导梯度增稠抛光方法，包括以下步骤：1)选用工件夹具；2)将工件装夹在工件夹具上；3)配置具有温度诱导梯度增稠效应的抛光液，并将抛光液置于抛光液箱内；4)启动主轴和水泵，将抛光液输入到抛光盘上，使得抛光液在抛光盘上相对运动，形成抛光液循环系统；5)使工件在大剪切作用下粗抛；6)使用温度传感器，监测到抛光液的温度T℃，启动变温棒，每隔一段时间梯度调整抛光液温度、结合主动剪切速率控制，即每隔一段时间抛光液粘度增大，造成抛光液梯度增稠，实现温度诱导梯度增稠抛光。本发明提供一种抛光效率较高、抛光过程可控性和灵活性良好的主动控制剪切温度诱导梯度增稠抛光方法。