一种基于真空热蒸发法的碘化铅多晶膜的制备方法

摘要

本发明公开了一种基于真空热蒸发法的碘化铅多晶膜的制备方法，根据半导体清洗标准对ITO玻璃衬底置于去离子水中超声清洗15min—30min，再放入乙醇中进行超声清洗15min—30min，接着放入丙酮中超声清洗15min，然后使用惰性气体枪吹干，最好放入清洗机中清洗15min—30min，取出放入指定烘箱中在150℃—200℃烘烤3h备用；同时杜绝了加热源中可能存在的挥发性物质对多晶膜的污染，减少了多晶膜的缺陷；从而进一步提高了碘化铅多晶膜的各项性能指标。