基于场效应晶体管的量子点近红外探测器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种基于场效应晶体管的量子点近红外探测器及其制备方法，属于光电探测领域；该探测器利用结型场效应晶体管的原理进行探测，结构从下至上包括：硅衬底层、硅沟道层、离子注入区、绝缘介质层、金属电极层、量子点层，金属电极层包括由金属源电极和金属源漏电极构成的金属源漏电极阵列，每两个源漏电极之间有一层量子点层，金属源漏电极与量子点由绝缘介质层隔开。本发明通过设计叉指电极，从而使得该结构的单元探测器易于阵列化集成，并且同时根据量子点材料的选取不同在可见光到近红外波段具有高响应度和低响应时间。