一种用于气体传感器的臭氧多级动态配气和测试系统

摘要

本发明公开了一种用于气体传感器的臭氧多级动态配气和测试系统，属于环境在线监测技术领域，本发明通过采用多级配气稀释，可根据实际应用需求，灵活调整系统稀释级数，配制不同浓度范围的臭氧气氛，尤其是配制低浓度的臭氧氛围，解决了臭氧最终配气浓度过分依赖臭氧发生器浓度的问题，能够真实模拟大气环境中的低浓度臭氧气氛；湿度控制准确，能够有效模拟真实大气环境气氛，且最大限度的避免复杂工序。并通过采用多气路通道，能够实现对器件测试气室快速准确的变换气体氛围，包括干空气、湿空气以及不同湿度、不同浓度的臭氧气氛等，为气体传感器提供更加真实多样的测试条件。