一种基于光学透射焊的微型压电泵、压电泵组及装配方法

摘要

本发明涉及一种流体泵，具体涉及一种基于光学透射焊的微型压电泵、压电泵组及装配方法。一种基于光学透射焊的微型压电泵，包括由上到下依次层叠的激励单元、阀体单元和阀座单元，所述激励单元为压电泵提供驱动力，所述激励单元包括压电振子和腔体振膜，所述压电振子设置在腔体振膜的上表面，所述腔体振膜、阀体单元、阀座单元的材质均为热塑性塑料，所述激励单元、阀体单元和阀座单元采用光学透射焊的方式层叠焊接。解决了现有技术中的压电泵的结构不够微型化，生产工艺复杂，生产过程不够环保的问题。