一种三维纳米碳复合金属固晶材料及其制备方法和应用、半导体封装结构

摘要

本发明属于功率器件散热技术领域，尤其涉及一种三维纳米碳复合金属固晶材料及其制备方法和应用、半导体封装结构。本发明提供了一种三维纳米碳复合金属固晶材料，所述三维纳米碳复合金属固晶材料通过将表面负载纳米种子金属的三维纳米碳与纳米金属进行混合烧结得到。本发明三维纳米碳复合金属固晶材料具有三维纳米碳的网络结构，可以有效的实现垂直方向的传热路径，提高垂直方向的导热性能，与功率器件沿垂直方向传热一致，而且三维纳米碳复合金属固晶材料包覆有纳米金属，可以防止纳米金属的氧化，满足高温半导体的散热要求。