一种合金钢基体上溅射Ta涂层的化学去除方法

摘要

一种合金钢表面溅射Ta涂层的化学去除方法，属于Ta涂层的去除技术领域。化学去除液的配方为：NaOH：400～500g/L，NaNO2：1～10g/L，D‑葡萄糖酸钠：3～5g/L；涂层去除方法为：将化学去除液加热，使化学去除液温度保持在110～130℃范围内，然后将有溅射Ta涂层的合金钢零件，浸没在化学去除液中，待Ta涂层完全去除后，在热水中清洗干净零件并用干燥热风吹干零件。本发明的Ta镀层化学去除液，可以完全去除Ta涂层，对合金钢基体几乎无损害，而且配置方法简单，使用方便，成本低廉。