用于提高石墨模具表面硬度和脱膜性的近净尺寸复合层的结构及其制备方法

摘要

本发明提供一种用于提高石墨模具表面硬度和脱膜性的近净尺寸复合层的结构及其制备方法，在真空环境和一定的温度条件下，在石墨模具的表面采用电子束蒸发工艺，或金属离子注入，或二者相结合的方法，反应生成一定厚度的硬质过渡层TiC或CrC，然后采用PECVD工艺，在硬质过渡层的表面生长一层超硬薄膜DLC或SiC作为保护层。本发明通过制备一层硬质过渡层以提高膜基结合力，使得超硬薄膜可涂覆在石墨模具表面，提高石墨模具的表面硬度及脱膜性能。同时，该制备方法可实现石墨模具表面近净尺寸涂层的制备，确保了石墨模具在涂覆保护层之后依旧满足原有模具的尺寸和精度要求。