一种红外与紫外皮秒激光的出光方法以及皮秒激光加工系统

摘要

本发明公开了一种皮秒红外与紫外激光的出光方法以及皮秒激光加工系统，该方法包括以下步骤：皮秒激光器发生红外激光脉冲信号；在红外激光工作时隙，第一外光路传递该红外激光脉冲信号至第一振镜模块以聚焦该红外激光脉冲信号至第一待加工对象；或在紫外激光工作时隙，倍频该红外激光脉冲信号得到紫外激光脉冲信号，以及第二外光路传递该紫外激光脉冲信号至第二振镜模块以聚焦该紫外激光脉冲信号至第二待加工对象。本发明的方法和系统利用光路切换兼容红外与紫外出光，可分时实现红外激光加工和紫外激光加工，降低成本、节省空间和提高生产效率。