一种纳米连接装置和纳米线连接方法

摘要

本发明提供了一种纳米连接装置和纳米线连接方法，涉及加工制造技术领域。本发明所述纳米连接装置，包括：真空腔、电子束发射及调控模块、电子束物镜、纳米操作装置、近场光发生装置、保护气体引入装置、工控机和显示装置。本发明所述纳米线连接方法包括：获取纳米颗粒和纳米线均匀分布于硅片表面的基底，将所述基底固定于精定位样品台上；利用粗定位样品台和精定位样品台进行所述基底的定位；利用纳米操作装置进行所述纳米线的定位，然后利用纳米操作装置进行纳米颗粒的定位；采用近场光作为热源，进行不同所述纳米线之间的连接。本发明通过多功能的结构设计，辅助完成纳米线的连接，从各个方面来提高了纳米线的连接效率和连接质量。