激光刻蚀电化学微增材换热功能表面的制备装置及方法

摘要

激光刻蚀电化学微增材换热功能表面的制备装置及方法，属于电化学沉积制造技术领域，包括隔振平台、XY向滑台系统、Z向滑台系统、原子力悬臂阳极探头系统、纳米流体供给系统、纳秒激光辐照刻蚀系统、电解质溶液供给系统、电化学池、中央控制单元以及恒电位电源。本发明采用两步加工方案，第一步为电化学微增材制造三维亚微米级表面纹理，第二步为在亚微米级表面织构的前提下对其表面进行激光刻蚀，形成纳米级表面织构，最终获得具有高效率换热功能表面；利用这两种技术同时参与功能表面制备中，对于制造大体积空气容腔的功能表面具有显著优势。