一种周期性纳米多层结构的AlCrN/AlCrSiNiN涂层及其制备方法和应用

摘要

本发明属于表面防护技术领域，公开了一种周期性纳米多层结构的AlCrN/AlCrSiNiN涂层及其制备方法和应用。该涂层包括AlCrN过渡层和AlCrSiNiN功能层，涂层的调制周期为5～15nm，AlCrN层中各元素含量为：Al：20～26at.％，Cr：15～20at.％，N：55～64at.％；AlCrSiNiN层中各元素含量为：Al：20～30at.％，Cr：10～20at.％，Si：3～10at.％，Ni：1～15at.％，N：45～55at.％。该涂层具有较高的硬度和较好的韧性，以及优异的高温抗氧化性和高温耐磨性。可应用在复杂工况下的切削及表面防护领域。