一种输出均匀偏振光的微型激光器及其制备方法

摘要

本发明涉及一种输出均匀偏振光的微型激光器及其制备方法，激光器包括P面电极、P面分布布拉格反射镜、N面分布布拉格反射镜、衬底层和N面电极，所述P面分布布拉格反射镜表面制作有亚波长的金属光栅，金属光栅与P面电极相连，金属光栅的周期小于垂直腔面发射激光器的波长；所述衬底层表面为球面；衬底层朝向N面电极的一侧刻蚀有DOE层。本发明无需光束整形系统，只需要通过工艺设计以及利用器件本身的特性，即可输出平顶的偏振光，此激光器结构简单、体积紧凑微小，造价低廉，可以高度集成在某些设备中，具有非常重要的应用前景。