提高样品切片的扫描成像在Z轴方向上分辨率方法及系统

摘要

本发明公开了一种提高样品切片扫描图像在Z轴方向上的分辨率方法及系统，其方法包括：通过设置扫描电子显微镜的入射电子束电压，对样品切片进行不同入射能量的背散射电子成像，获得位于所述样品切片内的不同深度处的初始扫描图像；通过主成分分析方法对各所述初始扫描图像进行处理，获得与所述样品切片内的不同深度处相对应的优化扫描图像；分别对各所述优化扫描图像进行对比度调整和滤波处理，以提高所述样品切片的扫描图像质量、以及其在Z轴方向上分辨率。本发明针对样品切片在不改变电镜设备硬件条件的情况下，通过对样品切片内不同深度处的扫描成像并配合相应的图像处理方法，达到提高大尺度样品切片Z轴分辨率的目的。