一种基于石墨烯表面等离子激元的一位数值比较器

摘要

本发明公开了一种基于石墨烯表面等离子激元的一位数值比较器，包括基底、缓冲层、第一直波导、第二直波导、第三直波导、第四直波导、第一微环谐振腔、第二微环谐振腔、第三微环谐振腔和半圆环形波导，缓冲层层叠在基底上，第一直波导、第二直波导、第三直波导和第四直波导平铺在缓冲层的上表面，半圆环形波导、第一微环谐振腔、第二微环谐振腔和第三微环谐振腔平铺在缓冲层的上表面，第一直波导、第二直波导、第三直波导、第四直波导、第一微环谐振腔、第二微环谐振腔、第三微环谐振腔和半圆环形波导分别为三层层叠结构，且其上层波导材料和下层波导材料均为二氧化硅，中层波导材料均为石墨烯；优点是尺寸较小、结构紧凑，利于片上集成。