公开/公告号CN109298590A
专利类型发明专利
公开/公告日2019-02-01
原文格式PDF
申请/专利权人 深圳市华星光电技术有限公司;
申请/专利号CN201811126276.9
发明设计人 曹武;
申请日2018-09-26
分类号G03F1/26(20120101);G02F1/13(20060101);G02F1/1339(20060101);G02F1/1333(20060101);
代理机构44265 深圳市德力知识产权代理事务所;
代理人林才桂;刘巍
地址 518132 广东省深圳市光明新区塘明大道9-2号
入库时间 2024-02-19 07:03:26
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-07-28
授权
授权
2019-03-01
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F1/26 申请日:20180926
实质审查的生效
2019-02-01
公开
公开
机译: 制作直线型BPS和液晶显示屏的光罩
机译: 用于半导体或显示面板的薄膜组合玻璃光罩制造单元及其光罩
机译: 用于半导体或显示面板的薄膜组合玻璃光罩制造单元及其光罩