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用于制作衬垫式BPS的光罩和液晶显示面板

摘要

本发明涉及一种用于制作衬垫式BPS的光罩和液晶显示面板。该用于制作衬垫式BPS的光罩设有用于形成主隔垫物色阻衬垫的衬垫图案,所述衬垫图案包括透光区域以及设于所述透光区域中的具有小关键尺寸的遮光图案;所述具有小关键尺寸的遮光图案为某一特征方向上线度足够小的规则图案;所述关键尺寸小于等于5um。本发明还提供了一种液晶显示面板。本发明用于制作衬垫式BPS的光罩能够增大在后续BPS材料涂敷时的段差转化率,最终可以向上调节主隔垫物和辅助隔垫物间的实际段差;本发明的液晶显示面板的衬垫式BPS具有较大的段差。

著录项

  • 公开/公告号CN109298590A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2019-02-01

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 深圳市华星光电技术有限公司;

    申请/专利号CN201811126276.9

  • 发明设计人 曹武;

    申请日2018-09-26

  • 分类号G03F1/26(20120101);G02F1/13(20060101);G02F1/1339(20060101);G02F1/1333(20060101);

  • 代理机构44265 深圳市德力知识产权代理事务所;

  • 代理人林才桂;刘巍

  • 地址 518132 广东省深圳市光明新区塘明大道9-2号

  • 入库时间 2024-02-19 07:03:26

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2020-07-28

    授权

    授权

  • 2019-03-01

    实质审查的生效 IPC(主分类):G03F1/26 申请日:20180926

    实质审查的生效

  • 2019-02-01

    公开

    公开

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