共焦Raman-LIBS光谱探测的飞秒激光加工监测融合方法与装置

摘要

本发明涉及共焦Raman‑LIBS光谱探测的飞秒激光加工监测融合方法与装置，属于激光精密检测技术、飞秒激光加工制造技术领域。本发明将激光共焦轴向监测模块与飞秒激光加工系统有机融合，利用共焦系统曲线峰值点对样品轴向位置进行高精度原位监测和样品轴向加工尺寸测量，解决了测量过程中的样品漂移问题和高精度在线检测问题；利用拉曼光谱探测模块、LIBS光谱探测模块对飞秒激光加工后样品材料的分子结构、元素及离子等信息进行监测分析，并通过计算机对上述信息进行融合，实现微细结构飞秒激光高精度加工与微区形态性能原位监测分析一体化，提高微细结构飞秒激光加工精度的可控性和样品的加工质量等。