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正性光致抗蚀剂组合物、使用其的光致抗蚀剂图案和光致抗蚀剂图案的制造方法

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本发明涉及正性光致抗蚀剂组合物、使用其的光致抗蚀剂图案和用于制造图案的方法，所述正性光致抗蚀剂组合物包含含有特定结构的重复单元的丙烯酸类树脂、和光敏酸产生化合物。

著录项

公开/公告号CN109429511A

专利类型发明专利
公开/公告日2019-03-05

原文格式PDF
申请/专利权人株式会社LG化学;
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申请/专利号CN201880001512.6
发明设计人林敏映;李泰燮;金智慧;
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申请日2018-03-16
分类号
代理机构北京集佳知识产权代理有限公司;
代理人顾晋伟
地址韩国首尔
入库时间 2024-02-19 06:53:11

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2019-03-29

实质审查的生效 IPC(主分类):G03F7/039 申请日:20180316

实质审查的生效
2019-03-05

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