设计布局为主的快速在线缺陷诊断、分类及取样方法及系统

摘要

本发明公开一种设计布局为主的快速在线缺陷诊断、分类及取样方法及系统，本发明的方法是先取得物体的设计布局图与物体于一重要制程阶段的缺陷数据，再从失效风险预诊断分析数据库中取得与设计布局图相关的一预诊断数据群体，然后根据预诊断数据群体判断缺陷数据的致命缺限指数暨失效风险等级。借此，本发明能提高缺陷检测的效率与准确度。