一种用于激光直写曝光机气动门的控制装置及控制方法

摘要

本发明公开了一种用于激光直写曝光机气动门的控制装置及控制方法，属于激光直写曝光技术领域，包括A气动门主体、B气动门主体、A控制阀门、B控制阀门、控制装置和供气调节管路；A气动门主体的气路接口与A控制阀门连接，A气动门主体的磁性开关接口与控制装置的DI接口连接；A控制阀门气路接口与供气调节管路输出连接，A控制阀门的控制接口与控制装置的DO接口连接；B气动门主体的气路接口与B控制阀门连接，B气动门主体的磁性开关接口与控制装置的DI接口连接；B控制阀门气路接口与供气调节管路输出连接，B控制阀门的控制接口与控制装置的DO接口连接。本发明可实现气动门稳定平滑控制。