半导体晶片在线检验的系统及方法

摘要

一种半导体装置在线检验的系统及方法。在一个实施例中，一种方法包括：将晶片自动地从第一处理站运送到检验站；在检验站中使用相机扫描晶片表面；产生晶片表面的至少一个图像；分析所述至少一个图像，以基于一组预定准则来检测晶片表面上的缺陷；如果确定晶片有缺陷，则将所述晶片自动地从检验站运送到储料器；且如果确定晶片无缺陷，则将所述晶片自动地运送到第二处理站以根据半导体装置制造工艺进行进一步处理。