基于VO2薄膜的热致变色智能热控器件及其制备方法

摘要

基于VO2薄膜的热致变色智能热控器件及其制备方法，它属于智能材料微纳结构器件制备领域。本发明要解决现有VO2薄膜高温的反射较高，导致基于VO2的智能热控器件的高温发射率较低的问题。基于VO2薄膜的热致变色智能热控器件自下而上依次由高反射金属基底层、微纳结构VO2层和保护层组成；或基于VO2薄膜的热致变色智能热控器件自下而上依次由半导体基底层、红外高反射层、微纳结构VO2层和保护层组成。制备方法：一、清洗基片；二、VO2薄膜制备；三、微纳结构加工；四、保护层沉积。本发明用于基于VO2薄膜的热致变色智能热控器件及其制备。